報(bào)告題目：駕馭聲波——用于可穿戴傳感器和聲流體的柔性薄膜聲波
Riding the acoustic waves:flexible thin film acoustic waves for wearable sensors and acoustofluidics
報(bào)告人：Prof. YongQing Fu
講座時(shí)間：2018年9月17日（星期一）下午15:00-17:00
講座地點(diǎn)：航空樓D座2樓 微系統(tǒng)工程系會(huì)議室
邀請(qǐng)人：何洋副教授
承辦學(xué)院：機(jī)電學(xué)院
聯(lián)系人：盧宇超
聯(lián)系電話(huà)：18829041036
報(bào)告簡(jiǎn)介：
薄膜壓電材料已被用于制備表面聲波（SAW）和薄膜體聲波（FBAR）器件，這些器件已應(yīng)用于生物樣品制備（分選、混合、泵送、霧化和分配）以及氣體傳感和生物傳感研究。本講座將重點(diǎn)討論使用壓電薄膜（主要是ZnO和AlN）制造的聲波器件，該聲波器件被用于聲波傳感和微流體研究中。本次講座將重點(diǎn)介紹在聚合物和金屬箔上實(shí)現(xiàn)高性能薄膜聲波器件的最新工作，這些器件有可能與包括CMOS集成電路在內(nèi)的各種基板上的微流體和傳感技術(shù)相結(jié)合，從而使可穿戴和柔性生物檢測(cè)芯片成為可能。
Thin film piezoelectric materials have been used to fabricate surface acoustic wave (SAW) and film bulk acoustic wave (FBAR) devices, which have been used for bio-sample preparation (sorting, mixing, pumping, nebulization and dispensing) as well as gas sensing and bio-sensing. This talk will focus on acoustic wave devices fabricated using piezoelectric thin films (mainly ZnO and AlN) for acoustic wave sensing and microfluidic applications. The talk will be focused more on recent work of high performance thin film acoustic wave devices achieved on polymer and metallic foils, which have the potential to be integrated with other microfluidic and sensing technology on a variety of substrates including CMOS integrated circuits to make novel lab-on-chip for bio-detection for wearable and flexible applications.
報(bào)告人簡(jiǎn)介：
YongQing Fu教授目前在紐卡斯?fàn)柕腘orthumbria大學(xué)工作，他博士畢業(yè)于新加坡的南洋理工大學(xué)，在劍橋大學(xué)做過(guò)博士后，在愛(ài)丁堡的郝瑞瓦特大學(xué)做過(guò)講師，以及在格拉斯哥的西蘇格蘭大學(xué)做過(guò)副教授。他在微納米材料技術(shù)、壓電MEMS器件、智能材料、薄膜表面聲波微流體及芯片以及薄膜形狀記憶合金和聚合物研究等領(lǐng)域有很高的國(guó)際聲望。目前已發(fā)表著作兩部,SCI收錄期刊論文數(shù)超過(guò)350篇(SCI H-index為42，SCI 總引用次數(shù)>6800次),發(fā)表期刊包括Progress in Materials Science, Nature Communications,Nano Letters,Nano Energy等。YongQing Fu教授在微系統(tǒng)器件設(shè)計(jì)、制備及測(cè)試以及薄膜技術(shù)方面也有豐厚的經(jīng)驗(yàn)。
