西北工業大學分析測試中心系列講座（第九期）
一、報告題目：微納加工技術中的科學原理
二、報告人：李西軍 研究員（浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室副主任，西湖大學先進微納加工與測試平臺主任）
三、講座時間：2019年4月19日（星期五），10:30-12:00
四、講座地點：長安校區理學院383會議室
五、報告摘要：
介紹微納加工的歷史和關鍵技術，重點分享電子束曝光、真空等離子刻蝕和鍍膜工藝中涉及到的物理過程，并分享怎樣利用科學原理開發新工藝的經驗。
六、報告人簡介：
李西軍 理學博士，研究員，浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室副主任，西湖大學先進微納加工與測試平臺主任。李西軍博士師從經福謙院士，2000年畢業于中國工程物理研究院研究生部，獲理學博士學位；有15年微納加工技術開發和多年平臺管理的經驗。2004到2007年，在承擔日本Pioneer公司先進集成非線性光學專項課題期間，發明絕緣層上鈮酸鋰（lithium niobite on insulation, LNoI）晶圓和聚焦離子束鐵電疇納米加工技術，是LNoI非線性集成光學器件的開拓者；隨后發明掃描離子聲學顯微鏡（Scanning Ion Acoustic Microscope, SIAM）。李西軍博士曾獲得國家基金委重大項目、國家基金委重點項目和科技部重大研發計劃等子課題資助，發表學術論文40余篇，獲得授權專利22項。
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